【pg電子官方網站】對話ASML中國區總裁沈波：中國已有近1400臺，ASML為何能主宰光刻機市場？｜直擊·2023進博會

ASML公司于2022年參展第五屆進博會（圖片來源：鈦媒體App編輯拍攝）

2023年11月5日-10日，第六屆中國國際進口博覽會（下稱“進博會”）將在上海全面線下舉辦。中國主宰

本屆進博會預計將迎來154個國家、區總pg電子官方網站地區和國際組織的裁沈場直來賓。已有超過3400家參展商和39.4萬名專業觀眾注冊報名，波中博展覽面積約36.7萬平方米，國已光刻參展的有近世界500強和行業龍頭企業數達289家，均超過之前歷屆水平。機市擊進

作為全球芯片領域的對話領先供應商，今年，中國主宰ASML（阿斯麥）公司將攜光刻機、區總計算光刻和量測等諸多技術，裁沈場直以“光刻未來，波中博攜手同行”為主題第五次參加進博會，國已光刻繼續亮相上海國家會展中心技術裝備展區集成電路專區。有近

展會召開前夕，ASML全球副總裁、中國區總裁沈波與鈦媒體App等進行深入的交流，分享行業洞察、業務進展等情況。

沈波表示，去年ASML全球凈銷售額達212億歐元，預計2023財年，公司全球銷售額增長30%，將達270余億歐元。據ASML最新季報，明后年全球半導體行業將企穩。預計到2025年，現有晶圓廠產能將會增加并有新的晶圓廠投入使用，半導體設備行業將會迎來比較大的增長，迎來需求的“高潮”。

沈波透露，“我們現在對自己產能的判斷，目標是pg電子官方網站在2025年底或2026年初，具備每年500臺-600臺深紫外（DUV）的設備產能。”

光刻設備供不應求，ASML中國的機臺裝機量接近1400臺

簡單來說，光刻是指，晶圓被放入光刻機中，光線會通過“掩模版”投射到晶圓上，光刻機的光學系統將掩模版上設計好的電路圖案縮小并聚焦到晶圓上的光刻膠。當光線照射到光刻膠上時，會產生化學變化，將掩模版上的圖案印制到光刻膠涂層上。

因此，光刻在芯片制造過程中至關重要。而光刻機也被譽為半導體“皇冠上的明珠”。（詳見鈦媒體App前文：《解密光刻機巨頭ASML的發家史》）

作為全球半導體行業的創新領導者，1984年成立的ASML公司，提供涵蓋硬件、軟件和服務在內的全景光刻解決方案，幫助芯片制造商在硅晶圓上批量“刻”制圖形。同時，ASML也是目前世界上唯一使用極紫外光（EUV）的光刻機制造商。

事實上，光刻機制造過程繁雜、難度較大。

“我們的光刻機每小時能處理多達300余片晶圓，每一片晶圓可能在光刻機中曝光時間只有十幾秒。這十幾秒，機器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圓上，根據產品種類和設計的差異需要產生100束光左右，每一束光都會有區別，并且在實時調整。這個過程非常復雜、非常精細?！鄙虿ū硎?，光刻環節，處于上千道工序里面最核心的位置。量產芯片廠，產品良率基本上在90%以上。這一千多道工序，每一道工序的誤差、偏差都需要控制得非常精確。任何一道工序有問題，芯片最后出來就可能不是一個合格的產品，這對芯片廠而言是巨大的成本。

ASML全球副總裁、中國區總裁沈波

沈波先生于2018年1月加入ASML公司，現擔任ASML全球高級副總裁和中國區總裁職務，負責ASML公司在中國的總體業務發展和運營。在加入ASML之前，沈波曾供職于美國通用電氣(GE)公司、芬蘭富騰工程公司等。

自1988年向中國交付了首臺步進式光刻機之后，ASML公司已經在中國市場深耕30余年，參與支持了中國半導體行業的發展，提供全包括光刻機臺、計算光刻、以及光學和電子束量測的全景光刻解決方案，從而幫助客戶提高效率并降低成本。

目前，ASML在中國設有16個辦事處、12個倉儲物流中心、3個開發中心、1個培訓中心以及1個維修中心。ASML在中國大陸的員工總人數已經超過1600人。

事實上，中國已成為ASML最重要的市場之一。

今年10月18日ASML公布的最新財報顯示，截止9月30日的前三季度，ASML全球凈銷售額達203.21億歐元，而中國區同期收入約合52.67億歐元，占比25.91%左右。ASML預計，2023年第四季度的凈銷售額在67億-71億歐元之間，毛利率在50%-51%之間。

“總體來講，到目前為止，我們還屬于有一點產能不足的狀態。對市場的需求來說。盡管現在全球行業整體處在周期谷底，但ASML目前在手還沒執行的訂單有350億歐元?？傮w上（光刻設備）還是供不應求?！鄙虿ū硎?，2022財年，ASML全球凈銷售額達212億歐元，今年全公司銷售額增長30%，預計達270億歐元以上。

對于中國市場，沈波對鈦媒體App表示，“現在網上有各種各樣的關于我們的消息，說我們不賣機器到中國，這種很吸引眼球的傳聞。然而，實際上我們從1988年首臺機器運到中國，到2023年底，ASML在中國的光刻機加上量測的機臺裝機量接近1400臺。所以，實際上我們這些年在中國的成長幅度還是非?？捎^的。我們一直在不停地投入做這件事情?！?/p>

“對于我們來講，我們是跟著這個（中國半導體產業）成長在不停地投入，團隊的投入、備件領域的投入、產品開發方面的投入，我們在中國都不斷地投入才形成這樣一個局面。我們的出發點，是為了更好的支持中國客戶的生產以及其今后的發展，我們一直是沿著這個思路在成長?！鄙虿ū硎?，接下來，ASML仍將持續、更好地支持客戶的發展，尤其在本土的客戶服務方面也在不斷地加大投入力度。

第六屆進博會期間，ASML將會展示“鐵三角”全景光刻解決方案：配備先進工藝控制能力的光刻機臺、計算光刻、光學及電子束量測。

其中，需要稍微科普的一個技術是“計算光刻”。

發展30多年的計算光刻，目前主要應用于芯片的開發與制造環節，通過優化成像光源與掩模版設計，實現更精確的圖形成像和更好的芯片生產良率。目前，ASML擁有全球領先的光學鄰近效應修正（OPC）、光源-掩膜協同優化技術（SMO）等計算光刻技術。

今年3月，英偉達宣布與臺積電、ASML、新思科技(Synopsys)合作，利用NVIDIA cuLitho計算光刻技術軟件庫，將計算光刻加速40倍以上，為2nm及更先進的工藝奠定基礎，引發廣泛關注。

截至目前，全球范圍內有眾多芯片制造商已采用ASML的計算光刻技術，并基于此技術加速研發周期以及制造芯片。今年，ASML計算光刻中國團隊已開發并發布了一款新版本的計算光刻產品。

在“鐵三角”中，ASML中國團隊參與了計算光刻和電子束量測業務的相關開發工作。

其中，深圳和武漢的研發中心參與計算光刻開發，是全球體系的一環；北京研發中心在ASML電子束檢測產品線中具有重要作用，參與了多個電子束檢測模塊開發。

在沈波看來，作為公司全球研發體系的一環，ASML在國內的技術團隊和其他地區的團隊通力合作，有不少項目都是各地的技術人員進行協作，融為一體的?！鞍雽w行業從誕生起就是全球合作的，在ASML也是一樣?！鄙虿ㄔ硎?。

沈波強調，2018年初，ASML中國團隊有500人左右，到今年底是1600多人。預計到2024年，ASML也將計劃有一個可持續的團隊成長。

ASML助力晶圓廠，美禁令影響明年中國業務的10%-15%

沈波表示，ASML成立至今，團隊持續秉持“3C文化”：挑戰求精（Challenge）、合作共進（Collaborate）、關愛致遠（Care）。

“我們一直在講，我們團隊與團隊、同事、客戶之間都是合作的關系。我們跟客戶是很重要的合作伙伴，協作這個概念在我們公司是貫徹得非常一致的?！鄙虿ū硎?，ASML會持續助力全球晶圓廠、芯片企業成長。

沈波坦率地表示，“我們的工作很辛苦，員工半夜兩三點接到客戶打來的電話，就得馬上幫客戶去解決問題。因為每一分鐘的效率都關系到客戶的利益，提前一分鐘把機器恢復起來對客戶來說都是好的，所以需要我們快速地去響應客戶的需求。我們努力關愛員工，在更高層面上也對行業充滿敬畏與責任感。我們認為，關注行業的未來比單純追求商業利益更加重要?！?/p>

“我們關心的是行業長遠健康發展，我們的商業利益不是首位的。從財務狀況可見，ASML的盈利水平僅為行業的平均水平。我們并沒有追求要賺到更多的錢，而是更關注解決技術挑戰，因為如果我們不采取行動，整個行業可能會受到影響。我們深感責任重大，正在努力推進技術進步以支持整個半導體行業發展，即便這個過程很困難?！鄙虿ū硎?。

過去五年，全球半導體產業經歷了缺芯、缺設備、地緣博弈、經濟衰退、消費電子需求減弱等多個疊加的復雜環境因素，ASML又身處芯片行業中的核心領域，持續面臨著挑戰與機遇。

據新華社，美國商務部于10月17日發布了對華半導體出口管制最終規則，進一步加嚴對人工智能相關芯片、半導體制造設備的對華出口限制。

當被問及相關話題時，沈波坦言，“現在對于新的出口管制政策，我們還在研究中。總體來看，如果以今年我們在中國的業務為基礎，明年的業務大概會受到10%-15%的影響。中國明年的市場需求還是蠻旺盛的。短期內我們感覺應該對總體業務量不會有太大影響。從公司角度，到2030年，行業整體趨勢一直起伏性增長，所以對公司銷售的總體趨勢不會有太大的改變?！?/p>

具體來說，因受到外部影響導致明年無法繼續供應的產品，將約占ASML中國區業務銷售比重的10%-15%。

“我們只有部分浸潤式產品明年會被放到出口管制的范圍，并不是所有的。即使有了新的出口管制，我們還有非常大的一塊浸潤式的業務在中國?！鄙虿ㄑa充稱。

“芯片這個行業的發展到現在已經超過60年了，從集成電路發明到現在，一直沿著自己的規律在往前走。如果我們去看中國這個產業里面最有影響的地方在哪？可以從不同終端市場來看?！蹦壳?，中國在家電和消費電子、新能源汽車、電力儲能、多晶硅、太陽能電池和組件等終端領域發展迅速。

沈波稱，“在我們看來，先進制程芯片從數量上講是相對較小的，絕大多數是成熟制程芯片。我覺得，對于中國來講，這么大終端市場需求推動下，把成熟制程芯片做到非常具有競爭力的水平，對半導體行業來講是最高效的，可以達到一個事半功倍的效果，有助于提高投入產出比。”

沈波對鈦媒體App表示，要提升中國成熟制程的全球競爭力，未來還需長期努力與產業鏈各環節的通力合作?！叭蚋偁幜Φ奶嵘且粋€值得思考和努力的方向?！?/p>

“中國市場就像一個縮小的全球市場，很多樣化，擁有各種客戶和產品?！鄙虿◤娬{，ASML的服務不僅限于機器的維修和維護，更在于幫助客戶充分利用設備并優化工藝流程，且根據工藝需求與客戶合作進行調整和優化。ASML對所有客戶而言，很大的附加值是幫客戶把機器用得好?！拔覀兊姆辗秶h遠超過維修這個范疇，包括與客戶技術人員合作以改進和開發工藝?！鄙虿偨Y道。

過去幾年，ASML每年DUV設備供應的能力達200臺左右。沈波透露，到2023年，DUV設備制造產能應該能達到300多臺，但供應缺口仍然很大。近年來，公司積極和供應商溝通，以期在配合和協作下，確保順利地響應、滿足2025年底的600臺設備的目標產能。

“如果各個方面都配合得完美無缺，我們在2025年底或是2026年初，就能具備每年500-600臺之間的DUV設備制造產能?！鄙虿ㄌ孤实乇硎?，如果中間發生一些不順利的事情，這個時間點還會晚一點。

沈波強調，如果2025年行業需求迅猛增長的話，對公司來說還將是“加油干”的一年。

（本文首發鈦媒體App，作者｜林志佳）